主要特征 Dhyana 9KTDI Pro（简称：D 9KTDI Pro）背照式TDI 相机基于先进的sCMOS 背照式减薄和TDI 时间积分技术，采用可靠稳定的制冷封装技术，覆盖从180 nm 紫外到1100 nm 近红外宽光谱，有效提升紫外TDI线扫、弱光扫描检测能力，旨在为半导体晶圆缺陷检测、半导体材料缺陷检测、基因测序等应用提供更高效率、更稳定的检测支持。
180nm-1100nm 宽光谱 Dhyana 9KTDI Pro 采用背照式 sCMOS 技术，已验证的响应波段可覆盖180 nm - 1100 nm区域。256级 TDI技术可以大幅提升紫外（193nm/266nm/355nm等波段）、可见光、近红外等弱光成像信噪比，提高设备检测精度。
600 kHz @ 9K 超高速线扫 Dhyana 9KTDI Pro 配备CoaxPress-Over-Fiber 2 x QSFP+ 高速接口，其传输效率相当于背照式 CCD-TDI 相机的54倍，显著提升设备的检测效率。
先进制冷降噪技术 相机高速运行时产生的大量热量，不仅会影响成像质量，还会引起测量结果的波动。鑫图先进水冷和风冷技术，确保相机制冷性能即使长时间运行也能保持稳定状态，降低设备误检率。

 

技术参数

 

型号 Dhyana 9KTDI Pro
传感器型号 Gpixel GLT5009BSI
传感器类型 BSI sCMOS TDI
峰值量子效率: 82% @ 550 nm, 50% @ 350 nm, 38% @ 800 nm
彩色 / 黑白 黑白
对角线尺寸 45.4 mm
有效面积 45.36 mm x 1.28 mm
分辨率 9072 ( H ) x 256 ( V )
像素尺寸 5 µm x 5 µm
满阱容量 典型值：14 ke- @ 10 bit，15.5 ke- @ 12 bit
动态范围 典型值：68.7 dB @ 12 bit，63.6 dB @ 10 bit
操作模式 TDI, Area
读出噪声 7.2 e- @ 12 bit, 11.4 e- @ 10 bit
扫描方向 正向，反向，触发控制
电荷转移效率 ≥ 0.99993
暗信号不均匀性 典型值：1.5 e- @ 12 bit，3.5 e- @ 10 bit
光响应不均匀性 典型值：0.30 %
位深 12 bit, 10 bit, 8 bit

制冷方式

 风冷，水冷，制冷速度 5 ℃ / min
最大制冷温差 低于环境温度35 °C
Binning 1 × 1, 2 x 1, 4 x 1, 8 x 1
ROL 支持
触发模式 触发输入, 扫描方向输入
触发输出信号 Strobe out
触发接口 Hirose, HR10A-7R-4S
数据接口 CoaxPress-Over-Fiber 2 x QSFP+
电源 12 V / 8 A
功耗 < 75 W
相机尺寸 100 mm x 100 mm x 145 mm
重量 1800 g
软件 SamplePro
SDK C, C++, C#
操作系统 Windows, Linux
操作环境 工作: 温度 0~40 °C，湿度 0~85%         储存: 温度 0~60 °C，湿度 0~90%

 

 

 

资源下载 > 

●Dhyana 9KTDI Pro技术规格书.pdf

●Dhyana 9KTDI Pro结构图纸.pdf 

●Dhyana 9KTDI Pro 用户手册.pdf

 

 

 

应用方向 >

 

   

                  半导体晶圆检测                                             FPD检测