主要特征

 

 

SRS的新型120、220和320 amu残余气体分析仪提供了更大的质量范围、更好的性能和内置模拟I/O等新功能。建立在以前的RGA100系列,SRS继续提供无与伦比的价值与RGA120系列。每个RGA系统都配有一个四极杆探头、电子控制单元(ECU)和一个用于数据采集和分析以及探头控制的实时Windows软件包。

 

 

 
坚固的探头设计
 
 
 
探头由离子发生器、四极滤质器和检测器组成。简单的设计具有少量零件,可最大限度地减少放气并减少将杂质引入真空系统的机会。探头组件坚固耐用,可安装在标准2 ¾ 英寸CF 法兰上。探头采用自对准部件设计,因此可以在清洁后轻松重新组装。
       
 
 
          
                                       独特的灯丝设计长寿命的双钍铱 (ThO 2 /Ir) 灯丝用于电子发射。双 ThO 2 /Ir灯丝的使用寿命比单灯丝长得多,从而最大限度地延长了灯丝更换之间的时间。与其他设计不同,SRS 灯丝可以在几分钟内由用户更换。
加热套O100HJRW 加热器护套配有 Watlow EHG SL10 过程控制器,可提供 210 °C (±3 °C) 的预编程温度。加热器护套采用 PTFE (Teflon) 结构制成,由于其低释气和无颗粒操作,适用于洁净室应用。O100HJRW 提供 120 VAC 和 220 VAC 版本,并随附目的地国家/地区的电源线。
     

 

 

技术参数

 

 

 

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RGA120 系列残余气体分析仪 技术规格书

RGA120 系列残余气体分析仪 使用说明书